- силановый метод
- adj
microel. Silanverfahren
Универсальный русско-немецкий словарь. Академик.ру. 2011.
силановый метод
Смотреть что такое "силановый метод" в других словарях:
Газофазная эпитаксия — Газофазная эпитаксия получение эпитаксиальных слоев полупроводников путём осаждения из паро газовой фазы. Наиболее часто применяется в технологии кремниевых, германиевых и арсенид галлиевых полупроводниковых приборов и интегральных… … Википедия
